Fraunhofer- IST
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Abb. 4:
Schematische Aufbau einer Magnetron-Sputter-Quelle

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Abb. 5:
Schematischer Aufbau einer Vakuumbedampfungsanlage

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Abb. 6:
Detailansicht des Steckerbereichs eines vollflächig metallisierten MID-Bauteils

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© 12/2001
Fraunhofer-Gesellschaft